แผ่นขัดเงาเซรามิกอลูมินาความบริสุทธิ์สูงคืออะไร?

ด้วยการพัฒนาอย่างรวดเร็วของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ขนาดของอุตสาหกรรมจึงเพิ่มขึ้นอย่างรวดเร็ว และอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ก็พัฒนาไปสู่ความแม่นยำและความซับซ้อนมากขึ้นเรื่อยๆ เนื่องจากเซรามิกมีข้อดีหลายประการ เช่น ความแข็งสูง โมดูลัสความยืดหยุ่นสูง ความต้านทานการสึกหรอสูง ฉนวนสูง ความต้านทานการกัดกร่อน การขยายตัวต่ำ ฯลฯ จึงสามารถใช้เป็นชิ้นส่วนในเครื่องขัดซิลิคอน อุปกรณ์อบชุบความร้อนแบบเอพิเท็กเซียล/ออกซิเดชัน/ดิฟฟิวชัน เครื่องพิมพ์หิน อุปกรณ์การตกตะกอน อุปกรณ์การกัดเซมิคอนดักเตอร์ เครื่องปลูกถ่ายไอออน และอุปกรณ์อื่นๆ ดังนั้น การวิจัยและพัฒนาและการผลิตชิ้นส่วนเซรามิกที่มีความแม่นยำจึงส่งผลโดยตรงต่อการพัฒนาอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ และข้อกำหนดทางเทคนิคในการผลิตก็สูงขึ้นเรื่อยๆ

อะลูมินาความบริสุทธิ์สูง 99.7%-99.9% อะลูมินา
มีความแข็งแรงเชิงกลสูง ทนต่อการสึกหรอสูง เป็นฉนวนไฟฟ้าสูง มีเสถียรภาพทางเคมีสูง ทนความร้อนและทนต่อการกัดกร่อนได้ดี ปัจจุบัน การใช้แผ่นเจียรเซรามิกในการเจียรแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนสำหรับเซมิคอนดักเตอร์เป็นวิธีการเจียรที่เหนือกว่าและทันสมัยที่สุด กระบวนการเจียรแบบสองด้านใช้ในการเจียรแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนที่ตัดแล้ว และคุณภาพของแผ่นเวเฟอร์ที่เจียรแล้วได้รับการปรับปรุงโดยการปรับปรุงกระบวนการเจียร (วัสดุของแผ่นเจียร ของเหลวที่ใช้ในการเจียร แรงดันในการเจียร และความเร็วในการเจียร ฯลฯ) โดยเฉพาะอย่างยิ่ง การใช้แผ่นเซรามิกแทนแผ่นเหล็กหล่อ เพื่อหลีกเลี่ยงรอยหรือสิ่งสกปรกที่เกิดจากการเจียรบนพื้นผิวหลักของแผ่นเวเฟอร์ ลดการปนเปื้อนของไอออนโลหะ สามารถลดกระบวนการแปรรูปซิลิคอนในขั้นตอนต่อไป ลดระยะเวลาในกระบวนการ (การกัดกร่อน) ปรับปรุงประสิทธิภาพการผลิต และลดการสูญเสียในกระบวนการแปรรูปซิลิคอน และเพิ่มการใช้ประโยชน์จากซิลิคอนอย่างมาก

แผ่นขัดเวเฟอร์อลูมินาสูงอลูมินาเซรามิกส์ถูกนำไปใช้ในอุตสาหกรรมต่างๆ เช่น ชิ้นส่วนเครื่องจักร ชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ แผ่นเหนี่ยวนำไมโครเวฟ วัสดุฉนวน อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ อุปกรณ์สุญญากาศ อุปกรณ์การผลิตจอ LCD และอื่นๆ อลูมินาเซรามิกส์ขนาดใหญ่และมีความบริสุทธิ์สูงมีคุณค่าในการใช้งานที่สำคัญในอุตสาหกรรมแซฟไฟร์และอุตสาหกรรมชิปเซมิคอนดักเตอร์ เป็นวัสดุรองรับและวัสดุสิ้นเปลืองที่สำคัญสำหรับการขัดเงาเชิงกลเคมี (CMP) ของแผ่นเวเฟอร์แซฟไฟร์และซิลิคอนเซมิคอนดักเตอร์ นอกจากนี้ อลูมินาเซรามิกส์ขนาดใหญ่และมีความบริสุทธิ์สูงยังสามารถใช้เป็นพื้นผิวอลูมินาสำหรับ LCD ได้อีกด้วย